Vahle nimmt neue Entwicklungs- und Testumgebung für Overhead-Hoist-Transport-Systeme in Betrieb

OHT-Systeme kommen in der Halbleiterindustrie für den automatisierten, deckengeführten Materialtransport zum Einsatz. Die Fahrzeuge bewegen sich auf Schienen unter der Hallendecke und transportieren Behälter wie FOUPs (Front Opening Unified Pods) sowie Magazine selbstständig zwischen einzelnen Prozessstationen.

Bedeutung für Halbleiterfertigung

Die OHT-Systeme übernehmen unter anderem den Transport von Wafern, also dünnen Siliziumscheiben, auf denen Mikrochips gefertigt werden. Diese würden in FOUPs geschützt durch die Produktion bewegt. Auch im Bereich des Integrated-Circuit-Packaging, also bei der Weiterverarbeitung und Verpackung der Chips, sollen OHT-Systeme den kontinuierlichen Materialfluss sicherstellen. Für diese Anwendungen seien hohe Anforderungen an die eingesetzten Systeme zu erfüllen. Laut Unternehmen zählen dazu insbesondere Verfügbarkeit, Reinraumtauglichkeit, Dynamik und Betriebssicherheit.

Tests unter praxisnahen Bedingungen

Mit der neuen Testinfrastruktur in Schwoich will Vahle Produktgenerationen unter realitätsnahen Bedingungen prüfen. Dazu gehören Belastungstests mit definierten Beschleunigungs- und Lastprofilen sowie die Validierung der kontaktlosen Energieübertragung im kontinuierlichen Betrieb. Darüber hinaus ermöglicht die Anlage demnach detaillierte Analysen zum Zusammenspiel von Dynamik, Energieübertragung und thermischem Verhalten der Systeme. Auf diese Weise sollen Entwicklungsfragen unter kontrollierten und reproduzierbaren Bedingungen untersucht werden.